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所以我们从研发一开始,就着手研制出了氦—氖气体激光器作为光刻机的光源干涉仪......”
徐国士娓娓讲述道。
“什,什么?徐老师,你说咱们的光刻机光源一开始就是使用气体激光方案?”
陈国泰突然瞪大眼睛,不敢置信地惊呼道。
“对呀?这有什么问题吗?”
徐国士愣了一下,疑惑地说道。
有什么问题?这问题可大了!
陈国泰当即用看神仙一般的敬仰眼神震惊地看着徐国士,心里疯狂地呐喊。
就陈国泰前世记忆中的内容来看,国外的光刻机在本世纪九十年代之前,光源部分基本都是使用高压汞灯。
直到进入九十年代,国外光刻机的主流光源才开始使用氟—氩气体激光。
也就是俗称的DUV光刻机。
而就在那个时候,国内光刻机的光源部分已经换成了氟代硼铍酸钾非线性激光晶体,把西方世界远远地甩在了后面。
那个晶体有一个大名鼎鼎的名字——KB.BF晶体!
它在广泛应用中被叫做准分子固态激光......
“徐老师,我们凤凰集团从成立开始就有发展光刻机全产业链的构想。
为此我们收集了很多西方世界光刻机的情报......据情报记载,西方光刻机目前使用的光源并不是气体激光,而是高压汞灯!”
在徐国士的疑惑注视之下,陈国泰声音微微颤抖地说道。
“什么?小陈,你能确定,西方现在使用的光源是高压汞灯?”
徐国士瞬间大吃一惊,身体猛然前倾,死死地盯着陈国泰说道。
“我们的消息确切无误。
西方世界使用的光源的确是高压汞灯。”
陈国泰快速做了一个深呼吸,尽量镇定地说道。
“他们真的是用高压汞灯做光源?这不对呀。
汞蒸气经过高电压激发出的光线,虽然也勉强称得上是激光,流明度也够高,但是激光波长过长,分辨率明显比不上惰性气体激光......并且它污染还大......当初我们是直接放弃的......他们不应该那么落后啊。
这到底是怎么回事呢?”
徐国士满头雾水,喃喃自语道。
“徐老师,或许我知道是怎么回事了。”
陈国泰脑海里突然灵光一闪,一句话冲口而出。
“怎么回事?你快说!”
徐国士一把抓住陈国泰的手,语气极为急迫地说道。
“徐老师,如果我没猜错的话,你当初临危受命研发光刻机时,得到了全国上下所有科研机构和生产力量全力配合,是不是?”
陈国泰仔细思考了一下,看着徐国士缓声说道。
“没错,的确是这样。
要不然仅凭我徐启林一个人,一年多时间就是把光刻机一个子系统搞明白都很难做到。”
徐国士理所当然地点头说道。
“所以你多半是直接拿到了咱们国家在激光上面的研究成果,因此而放弃了高压汞灯路线,没有走上弯路......而这个事实也清楚地说明,咱们国家在激光项目上的研究水准,早就领先于全球。”
陈国泰虽是猜测,却是语气肯定地说道。
“啊?这你也能猜到?”
徐国士眼里顿时全是震惊。
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