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第三十二章 解疑 求数据（第2页）

“它分为紫外线，深紫外线，激动紫外线。”

“5纳米光刻机用的是极紫外光刻，也就是euv。”

“极紫外的光波长13.5纳米，它可以雕刻出5纳米的芯片。”

“这些紫外线统统被称为软x射线。”

“而无掩模光刻机我们采用的是用x射线来做光源！”

苏晨说道。

“x射线跟紫外线相比有什么优势吗？”

底下的人继续问道。

“优势很大。”

“x射线的波长从0.001纳米到10纳米，而更小的波长也意外这更锋利，也意味着可以减少光波的衍射，利于形成微小清晰的影像。”

“而且由于x射线准直性非常好，是1:1复制的，掩膜版使用的是硅梁支撑的低应力氮化硅薄膜，上面有一层图形化的进，作为掩蔽层。”

“曝光方式采用浸入的方式，可以极大的提升效率。”

苏晨说完。

底下的人又开始窃窃私语。

“苏副总设计师说的好棒啊，虽然我一个字都没听懂。”

“我也是听得很迷糊，但是我在国外留学的时候，我们系一个老教授倒是提过一句用x射线来做光刻机的光刻。”

“然后呢？”

“然后？没然后了啊。

对了，再说一句，这个老教授的脑子好像有点不正常。”

“奥，我明白了，你的意思是只有疯子才这么想？”

“我也明白了，你是在拐着弯骂苏副总设计师呢。”

“我不是，我没有，别瞎说！”

“咳咳，大家别吵了。”

张老听见底下的争论有点变味，他顿时说道。

众人都安静了下来。

张老的眼神看向苏晨。

问道：“小苏啊，我多说一句，现在蓝星上所有的材料对于x射线都是折射率为1且吸收率很大的材料。”

“这个材料问题你怎么解决？”

苏晨微微一笑。

“这个问题我早就想过了。”

“很简单，采用多层膜的设计，可以让波段的反射率接近70%。”

张老楞了一下。

他就是随口一问。

没想到苏晨竟然这么快的就回答上来了。